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當前位置:首頁   >  產(chǎn)品中心  >  光刻膠  >  SU-8膠  >  3010/3005/3025/3050SU-8 3000光刻膠

SU-8 3000光刻膠

簡要描述:SU-8 3000是一種高對比度,基于環(huán)氧的光刻膠,專為微加工和其他微電子應(yīng)用中,
需要化學(xué)和熱穩(wěn)定的圖像。 SU-8 3000是SU-8和SU-8 2000的改進配方,已被廣泛采用
由MEMS生產(chǎn)商使用多年。 SU-8 3000有配制用于改善附著力和降低涂層應(yīng)力。
SU-8 3000的粘度范圍允許膜厚為4至單層涂層厚度為120 µm。

  • 產(chǎn)品型號:3010/3005/3025/3050
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-05-17
  • 訪  問  量:2312

詳細介紹

特征

•提高附著力

         •降低涂層應(yīng)力

 

•高縱橫比成像

          •垂直側(cè)壁

          •單層涂膜厚度大于100mm

           •出色的抗干蝕刻性

SU-8 3000抗蝕劑經(jīng)過專門設(shè)計,可與MicroChem的SU-8顯影劑一起用于浸漬,噴涂或噴漿工藝。 也可以使用其他基于溶劑的顯影劑,例如乳酸乙酯和雙丙酮醇。 對于高縱橫比和/或厚膜結(jié)構(gòu),也建議強烈攪拌。 表6中給出了浸入過程的建議顯影時間。這些顯影時間是近似的,因為實際溶解速度會隨著攪拌而變化很大。

SU-8 3000具有良好的機械性能。 但是,對于要保留成像的抗蝕劑作為終設(shè)備一部分的應(yīng)用,可以在加熱板上或?qū)α骺鞠渲性?50-200°C之間將抗蝕劑進行坡道/分步硬烘烤,以進一步使材料交聯(lián)。 烘烤時間根據(jù)烘烤過程的類型和膜厚的不同而不同。

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