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EDC-650顯影機(jī)開機(jī)啟動(dòng)適用工藝

更新時(shí)間:2018-01-24      點(diǎn)擊次數(shù):1870
  EDC-650顯影機(jī)開機(jī)啟動(dòng)適用工藝
  
  EDC-650顯影機(jī)是一種既可用于精密勻膠操作,又可用于半導(dǎo)體顯影和清洗的臺面式設(shè)備,它可以實(shí)現(xiàn)價(jià)值百萬美元設(shè)備的上才可能達(dá)到穩(wěn)定性和均勻性。
  
  EDC-650顯影機(jī)要注意的問題如下:
  
  ①開機(jī)前就應(yīng)該啟動(dòng)顯影機(jī)給顯影液預(yù)熱,待顯影液溫度達(dá)到設(shè)定的溫度值再開始顯影。
  
 ?、诙ㄆ谇逑达@影槽和顯影槽中的各種膠輥,以避免印版帶臟、刮傷等現(xiàn)象的出現(xiàn)。
  
 ?、矍逑赐磕z的膠輥,以免膠輥干結(jié)從而對驅(qū)動(dòng)電機(jī)造成損害。
  
  ④注意顯影液的疲勞程度,及時(shí)地更換顯影液。
  
  EDC-650顯影機(jī)適用工藝(包括但不限于下述濕法制程)
  
  光刻膠顯影(KrF/ArF)
  
  SU8厚膠顯影
  
  顯影后清洗
  
  PostCMP清洗
  
  光罩去膠清洗
  
  光刻膠去除
  
  金屬Lift-off處理
  
  刻蝕微刻蝕處理
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